白继锋

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：长春理工大学更多>>
发文主题：表面粗化ALGAINP外量子效率湿法腐蚀湿法更多>>
发文领域：电子电信更多>>
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湿法表面粗化提高倒装AlGaInP LED外量子效率被引量：3
《半导体光电》2012年第2期188-190,193,共4页白继锋 高欣 薄报学 黄尊祥 陈凯轩 马祥柱 
国家自然科学基金项目(61177019,61179048)
介绍了一种利用盐酸、磷酸混合液对不同Al组分(AlxGa1-x)0.5In0.5P的选择性腐蚀特性对倒装AlGaInP红光LED进行表面粗化的方法。通过向粗化层GaInP加入适量的Al,在Al组分为0.4时,利用体积比为1∶10的HCl∶H3PO4可以得到横向尺寸约为60nm...
关键词：ALGAINP 选择性腐蚀 湿法腐蚀 表面粗化 外量子效率 
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