陈文国

作品数：1被引量：5H指数：1
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供职机构：上海交通大学更多>>
发文主题：蛇形弹簧加速度绝缘衬底金属结构硅微机械更多>>
发文领域：机械工程更多>>
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一种新型三维多方向敏感的非硅微机械惯性开关被引量：5
《振动与冲击》2013年第5期104-107,118,共5页朱斌 杨卓青 陈文国 丁桂甫 赵小林 
十二五预先研究项目(51308050304);教育部重点支撑计划项目(625010105)
基于非硅表面微加工技术,设计并制造一种新型三维多方向敏感的微惯性开关。选用弹簧-质量块-阻尼的典型碰撞结构,主要由可动电极悬臂梁弹簧—质量块系统、水平固定电极、垂直复合柔性固定电极三部分组成。利用ANSYS有限元软件对器件进...
关键词：惯性开关 微机电系统 多向敏感 
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