刘正

作品数：4被引量：7H指数：2
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供职机构：中北大学更多>>
发文主题：光学微腔悬臂梁封装材料加速度计耦合器更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术兵器科学与技术更多>>
发文期刊：《红外与激光工程》《传感技术学报》《纳米科技》《自动化与仪表》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划山西省自然科学基金国家自然科学基金年山西省研究生优秀创新项目更多>>
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一种基于SOI的集成光波导耦合系统的设计与制备被引量：2
《传感技术学报》2011年第6期839-842,共4页李鹏 张宇光 王丽 刘正 严英占 仝晓刚 薛晨阳 闫树斌 
国家973计划前期研究专项(2009CB326200);国家自然科学基金项目(50975266;60707014;60778029);重点实验室基金项目(9140c1204040909);总装创新项目(7130907);山西省自然科学基金项目(2010011003);山西省研究生优秀创新项目(20103083);山西省重点实验室开放项目(200911059-16)
根据锥形光纤与平面环型微腔耦合原理,使用L-Edit版图设计软件设计并优化了锥形光波导与微腔耦合系统。利用MEMS工艺对SOI圆晶片进行加工,从而实现了锥形光波导与跑道型以及环型光波导微腔的集成。其中,光波导以及微腔通过ICP刻蚀顶层...
关键词：锥形光波导 耦合 ICP RIE 跑道型微腔 环型微腔 
芯片级全固化集成光波导陀螺被引量：4
《红外与激光工程》2011年第5期921-925,共5页闫树斌 赵敏 刘正 李杰 严英占 薛晨阳 刘俊 
国家重点基础研究发展计划(2009CB326206);国家自然科学基金(50975266);重点实验室基金(9140C1204040909);总装创新项目(7130907);山西省优秀青年学术带头人和山西省自然科学基金(2009011059-16)
高灵敏、全固态、集成制造的微光-机-电陀螺是未来发展的新一代惯性器件,在深空探测、载人航天以及飞行器制导技术领域具有迫切应用需求。提出基于光波导微腔透射谱输出特性的惯性测量方法与系统基础结构,并对其惯性测量原理、微加工工...
关键词：集成光波导 透射谱 耦合传输 微光-机-电陀螺 
低损耗双锥光纤的制备与光学特性研究被引量：1
《纳米科技》2011年第2期33-36,62,共5页李杰 吉喆 严英占 刘正 刘俊 闫树斌 
国家973前期研究专项项目（2009CB326206）; 国家自然科学基金项目（60707014、60778029、50975266）; 重点实验室基金项目（9140C1204040909）; 总装创新项目（7130907）; 山西省自然科学基金项目（20091105916、2010011003-2）; 山西省高等学校优秀青年学术带头人支持计划; 山西省研究生优秀创新项目（20093076）
利用熔拉法制备了双锥光纤,系统地研究了拉制过程中拉制距离、拉制速度、氢气流量等参数与双锥光纤光学传输特性关系,实验表明,拉制距离控制在30mm-32mm,拉制速度在0.15mm/s,氢气流量在140-150之间时,可以得到损耗在0.5dB-0.7dB,锥腰直...
关键词：双锥光纤 制备 耦合特性 
基于光学微腔的MOEMS微位移传感器
《自动化与仪表》2011年第2期1-3,16,共4页刘正 严英占 刘俊 闫树斌 
国家973规划前期项目(2009CB326206);山西省高等学校中青年拔尖创新人才支持计划资助项目;山西省高等学校优秀青年学术带头人支持计划资助和;山西省研究生优秀创新项目(20093076);太原市科技立项项目资助(100115129;100115122)
该MOEMS微位移传感器是一种基于光波导环形谐振腔的悬臂梁式传感器,通过一系列的微加工技术集成制造在SOI材料上。光学微腔是一种新型的光学谐振腔,当其在回音廊模式下(WGM)共振时可以检测到规则的透射谱图,该传感器通过测量透射谱的偏...
关键词：位移传感器 环形谐振腔 光波导 微光机电系统 
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