丁卫涛

作品数:1被引量:5H指数:1
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供职机构:上海理工大学更多>>
发文主题:闪耀光栅刻刀衍射角便携式光谱仪分度机构更多>>
发文领域:理学机械工程电子电信更多>>
发文期刊:《光电工程》更多>>
所获基金:上海市教育委员会重点学科基金国家重大科学仪器设备开发专项国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
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中阶梯光栅刻划误差要求分析被引量:5
《光电工程》2013年第9期68-75,共8页丁卫涛 黄元申 张大伟 杨海马 
国家自然科学基金(61176085;11105149);国家科技支撑计划(2011BAF02804);国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ15004004);上海市教委曙光项目(11SG44);上海市超精密光学加工与检测服务平台建设(11DZ2290301);上海市重点学科建设项目(S30502);高等学校博士学科点专项科研基金(2012312013000)
中阶梯光栅作为高色散和高分辨率光学器件,已经广泛的应用于大型光谱仪器之中。在中阶梯光栅的刻划过程中,存在刻划误差,这将严重影响光栅衍射性能,最终使得衍射效果产生缺陷。针对此情况,定量分析了中阶梯光栅的刻划误差对衍射光谱、...
关键词:刻划误差 误差分析 中阶梯光栅 衍射效率 
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