刻划误差

作品数：14被引量：31H指数：3
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刻划光栅刻线弯曲误差在线修正技术研究被引量：2
《应用光学》2019年第4期658-662,共5页杨超 周鹏 周润森 高旭 薛常喜 
国家自然科学基金(51505078,61505204);长春理工大学青年科学基金(XQNJJ-2017-06);2018年“十三五”科学技术项目(JJKH20181111KJ)
刻划光栅存在刻线弯曲误差,将直接影响光栅的衍射波前质量。通过构建光栅刻线弯曲误差与衍射波前的映射关系,搭建了光栅刻线弯曲误差的实时测量光路,论述了光栅刻划机主动控制技术原理,将光栅刻划机主动控制技术用于光栅刻线弯曲误差的...
关键词：刻划光栅 测量光路 刻线弯曲 刻划误差 
圆感应同步器扇区刻划误差的测试方法被引量：2
《电机与控制学报》2019年第7期19-26,37,共9页霍炎 任顺清 李巍 
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2013YQ310737);黑龙江省自然科学基金(F2016027)
为了进一步提高圆感应同步器测角系统的精度,首先,对圆感应同步器测角系统的误差源进行进一步挖掘,提出圆感应同步器扇区刻划误差的概念。然后,将扇区刻划误差项引入到圆感应同步器测角系统的误差模型之中,建立更为完善的测角系统的误...
关键词：扇区刻划误差 谐波分析 数据耦合 最小二乘 误差分离 
如何用万能工具显微镜加工刻划误差不大于10″的工件
《中国新技术新产品》2015年第12期43-43,共1页孙亮 
本文介绍了如何用万能工具显微镜加工刻划误差不大于10″的工件,并对比分析了经典的及新创的刻划方法。
关键词：万能工具显微镜 刻划误差 正多面棱体 自准直仪 
中阶梯光栅刻划误差要求分析被引量：5
《光电工程》2013年第9期68-75,共8页丁卫涛 黄元申 张大伟 杨海马 
国家自然科学基金(61176085;11105149);国家科技支撑计划(2011BAF02804);国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ15004004);上海市教委曙光项目(11SG44);上海市超精密光学加工与检测服务平台建设(11DZ2290301);上海市重点学科建设项目(S30502);高等学校博士学科点专项科研基金(2012312013000)
中阶梯光栅作为高色散和高分辨率光学器件,已经广泛的应用于大型光谱仪器之中。在中阶梯光栅的刻划过程中,存在刻划误差,这将严重影响光栅衍射性能,最终使得衍射效果产生缺陷。针对此情况,定量分析了中阶梯光栅的刻划误差对衍射光谱、...
关键词：刻划误差 误差分析 中阶梯光栅 衍射效率 
常角法检测圆分度刻划误差谐量失真的研究被引量：1
《计量技术》2002年第10期3-6,共4页张红胜 杨进堂 
经典的常角法测量圆分度件分度误差的分析中没有提及谐量失真的问题。自从高效率的光电检验仪问世以后 ,发现光电定角比相法存在误差的谐量失真 ,经分析是常角法自身引起的。显然 ,误差谐量失真会影响常角法测量圆分度件刻划误差的测量...
关键词：检测 圆分度件 刻划误差 常角法 误差谐量失真 分度误差 光电检测仪 
圆分度误差曲线的直观功效
《计量技术》2001年第1期23-25,共3页冯长有 张红胜 
文中以实例阐明 ,圆分度光电检验仪配置了计算机数据处理后 ,因圆分度误差曲线的直观功能对检测、刻划和复制有指导、启迪作用 。
关键词：圆分度 刻划误差 笔录曲线 数据采集 光电检验仪 误差曲线 计算机数据处理 
光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高被引量：7
《光学精密工程》2000年第5期482-486,共5页张红胜 冯长有 
用公式推导说明了影响光电定角比相法检测圆光栅刻划误差测量精度的因素 ,并用两台测量精度不同的仪器做了实验验证。文中提出 ,在仪器稳定 ,主轴回转精度高的前提下 ,再采用分光裂相法读数 ,异或门鉴相、“内插法”、“对称联系法”等...
关键词：圆光栅 刻划误差 测量精度 光电定角比相法 
光学码盘的检验被引量：2
《计量技术》1999年第10期25-27,共3页张红胜 杨进堂 
本文着重介绍了检验光学码盘三种误差 （刻划误差、均匀性误差、码道关系误差）
关键词：光学码盘 刻划误差 测角仪器 码道关系 误差 
一种容栅式角度传感器的精度分析被引量：1
《实用测试技术》1998年第3期24-28,共5页顾琴玲 凌锐鸿 谭进 
本文介绍了一种由国内研制的容栅式角度传感器的工作原理及精度分析，并说明了该传感器应用在电子数显外径千分尺中的良好效果。
关键词：容栅式 角度传感器 误差平均效应 刻划误差 
含有中周期误差的圆分度件刻划误差的评定方法被引量：3
《计量技术》1997年第7期16-19,共4页杨进堂 
本文阐述了圆分度件中周期误差产生的主要原因，在其检测方法的基础上介绍了含有中周期误差的圆分度件刻划误差的两种评定方法。
关键词：圆分度误差 周期性误差 直径误差 圆分度件 
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