曹哲

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文主题：PH值碱性抛光液稳定性螯合剂速率更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》更多>>
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pH值对碱性抛光液速率稳定性的影响被引量：1
《微纳电子技术》2013年第9期599-602,共4页曹哲 刘玉岭 王辰伟 李海龙 蔡婷 
国家中长期发展规划重大科技专项资助项目(2009ZX02308)
通过分析pH值对碱性抛光液抛光速率稳定性的影响,得出了碱性抛光液抛光速率相对稳定的pH值区间,并与酸性抛光液进行了对比,在酸性环境中至少稳定24 h,pH≤4时甚至可稳定6天。在碱性环境中pH为8时稳定性效果较好。研究得出了不同体积分...
关键词：PH值 碱性抛光液 稳定性 速率 螯合剂 
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