屈直

作品数:2被引量:6H指数:1
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供职机构:西安理工大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题:MO薄膜MOCIGS薄膜太阳能电池XRDSEM更多>>
发文领域:理学一般工业技术更多>>
发文期刊:《材料导报》《功能材料》更多>>
所获基金:陕西省自然科学基金陕西省普通高等学校重点学科专项资金建设项目更多>>
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磁控溅射技术制备硅纳米晶多层膜及微观结构表征
《功能材料》2012年第6期732-735,共4页赵志明 马二云 张晓静 田亚萍 屈直 丁宇 曹智睿 白力静 张国君 蒋百灵 
陕西省自然科学基金资助项目(2010JQ6008)
在室温下,分别利用常规磁控溅射和反应磁控溅射技术交替沉积Si薄膜和Si1-xNx薄膜在单晶硅基体上制备了Si/Si1-xNx纳米多层膜。接下来,在高温下对Si/Si1-xNx多层膜进行退火诱发各层中形成硅纳米晶。研究了Si1-xNx层厚度和N2流量沉积对Si/...
关键词:磁控溅射技术 Si/Si1-xNx多层膜 Si纳米晶 Si3N4纳米晶 TEM 
CIGS薄膜太阳能电池用Mo背电极的制备与结构性能研究被引量:6
《材料导报》2011年第12期74-77,共4页赵志明 丁宇 曹智睿 田亚萍 屈直 张国君 蒋百灵 
陕西省自然科学基金(101-221007);陕西省重点学科建设专项资金
利用磁控溅射技术在Soda-lime玻璃衬底上沉积CIGS薄膜太阳能电池用金属Mo背电极薄膜,并研究了Mo靶功率、基片脉冲宽度以及预清洗时间对Mo薄膜的相结构、形貌及电阻率的影响。结果表明,沉积的Mo薄膜均沿(110)晶面呈柱状择优生长;增大Mo...
关键词:MO薄膜 磁控溅射 XRD SEM 
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