田亚萍

作品数：5被引量：15H指数：3
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供职机构：西安理工大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：AZO薄膜直流反应磁控溅射磁控溅射MO薄膜MO更多>>
发文领域：理学电气工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《功能材料》《人工晶体学报》《材料导报》《西安理工大学学报》更多>>
所获基金：陕西省自然科学基金陕西省普通高等学校重点学科专项资金建设项目更多>>
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磁控溅射技术制备硅纳米晶多层膜及微观结构表征
《功能材料》2012年第6期732-735,共4页赵志明 马二云 张晓静 田亚萍 屈直 丁宇 曹智睿 白力静 张国君 蒋百灵 
陕西省自然科学基金资助项目(2010JQ6008)
在室温下,分别利用常规磁控溅射和反应磁控溅射技术交替沉积Si薄膜和Si1-xNx薄膜在单晶硅基体上制备了Si/Si1-xNx纳米多层膜。接下来,在高温下对Si/Si1-xNx多层膜进行退火诱发各层中形成硅纳米晶。研究了Si1-xNx层厚度和N2流量沉积对Si/...
关键词：磁控溅射技术 Si/Si1-xNx多层膜 Si纳米晶 Si3N4纳米晶 TEM 
靶功率对溅射沉积CIGS薄膜的结构与光学性能的影响被引量：1
《材料导报》2012年第4期22-26,共5页赵志明 田亚萍 曹智睿 马二云 张晓静 白力静 蒋百灵 
陕西省自然科学基金(2010JQ6008);陕西省科学研究计划(21080209JK608);陕西省重点学科建设专项资金
采用单靶磁控溅射方法分别在玻璃和镀有Mo背电极的Soda-lime玻璃衬底上沉积Cu(In0.7Ga0.3)Se2(CIGS)薄膜。研究了靶功率变化对CIGS薄膜的晶体结构、表面形貌和光学性能的影响。采用XRD表征薄膜的组织结构,SEM和EDS观察和分析薄膜的表面...
关键词：单靶磁控溅射 CIGS薄膜 晶体结构 表面形貌 透过率 
反应磁控溅射制备AZO薄膜相结构的演化及机理研究被引量：3
《人工晶体学报》2012年第1期177-182,共6页赵志明 丁宇 田亚萍 张晓静 马二云 白力静 蒋百灵 
陕西省自然科学基金资助项目(2010JQ6008);陕西省科学研究计划(21080209JK608);陕西省重点学科建设专项资金资助项目
在室温下,利用直流反应磁控溅射技术在不同的氧气流量下沉积ZnO∶Al(AZO)薄膜。采用XRD、SEM和TEM技术分析薄膜相成分、表面截面形貌及微观结构。结果表明:氧气流量为2.5 sccm时,沉积形成的薄膜为不透明具有金属导电性能的AZO/Zn(AZO)...
关键词：直流反应磁控溅射 AZO薄膜 Al2O3纳米颗粒 
氧气流量对磁控溅射AZO薄膜光电性能的影响被引量：5
《西安理工大学学报》2011年第3期306-310,共5页丁宇 蒋百灵 田亚萍 马二云 张晓静 曹智睿 赵志明 
陕西省重点学科建设专项资金资助项目(101-00X901);陕西省自然科学基金资助项目(101-221007)
采用直流反应磁控溅射方法在载玻片基体上制备AZO薄膜,研究氧气流量对所制备AZO薄膜光电性能及微观结构的影响。结果表明,氧气流量显著影响AZO薄膜的光电性能和结晶状况,当氧气流量高于0.08×10-6 m3/s时所制备的薄膜可见光透过率高但...
关键词：AZO薄膜 直流反应磁控溅射 氧气流量 光电性能 
CIGS薄膜太阳能电池用Mo背电极的制备与结构性能研究被引量：6
《材料导报》2011年第12期74-77,共4页赵志明 丁宇 曹智睿 田亚萍 屈直 张国君 蒋百灵 
陕西省自然科学基金(101-221007);陕西省重点学科建设专项资金
利用磁控溅射技术在Soda-lime玻璃衬底上沉积CIGS薄膜太阳能电池用金属Mo背电极薄膜,并研究了Mo靶功率、基片脉冲宽度以及预清洗时间对Mo薄膜的相结构、形貌及电阻率的影响。结果表明,沉积的Mo薄膜均沿(110)晶面呈柱状择优生长;增大Mo...
关键词：MO薄膜 磁控溅射 XRD SEM 
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