云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 卢殿清

卢殿清: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：南京大学物理学院物理学系更多>>; 发文主题：GAN结构特性英文更多>>; 发文领域：电子电信更多>>; 发文期刊：《发光学报》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金更多>>

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侧向外延生长GaN的结构特性(英文): 《发光学报》2001年第z1期53-56,共4页张荣顾书林修向前卢殿清沈波施毅郑有炓 KUAN T S; 国家"8 6 3"基金资助项目 ( 2 0 0 0 0 6 83);国家自然科学基金资助项目 ( 6 9976 0 14 ,6 96 36 0 10 ,6 980 6 0 0 6 ,6 99870 0 1)~~; 研究了在刻有图形的GaN“衬底”上用HVPE方法侧向外延生长 (ELO)GaN的结构特性。在SiO2 衬底上侧向外延生长GaN已经实现 ,并得到了平面的ELOGaN薄膜。采用扫描电子显微镜、透射电微镜和原子力显微镜技术研究了这种ELOGaN材料的结构和表...; 关键词：GAN 侧向外延生长氢化汽相外延