高浩然

作品数：1被引量：8H指数：1
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使用低电阻金属铝制造薄膜晶体管阵列信号电极被引量：8
《液晶与显示》2009年第4期533-536,共4页刘翔 陈旭 谢振宇 高浩然 王威 
金属电阻是影响大尺寸TFT-LCD信号延迟的关键因素。研究了利用低电阻率金属Al制作大尺寸TFT阵列信号线的生产工艺,发现在完成有源半导体层刻蚀后残留的少量Cl2会在后续工艺中对金属Al造成腐蚀,严重地影响了产品的性能。通过优化刻蚀工艺...
关键词：薄膜晶体管 铝 腐蚀 刻蚀 
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