王奇

作品数：3被引量：9H指数：2
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供职机构：大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
发文主题：NON2混合气体介质阻挡放电脉冲电压更多>>
发文领域：理学文化科学环境科学与工程电子电信更多>>
发文期刊：《实验室科学》《高电压技术》《物理实验》更多>>
所获基金：国家自然科学基金辽宁省普通高等教育本科教学改革研究项目更多>>
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光刻系统实验教学平台搭建及课程开展被引量：3
《实验室科学》2017年第6期10-12,15,共4页王奇 刘勐 汪家奇 
国家自然科学基金青年基金"射频辅助脉冲电源驱动同轴介质阻挡放电脱除NOx的数值模拟研究"(项目编号:11405022);大连市高层次人才创新支持计划项目(项目编号:2016RQ020)
目前我国高校开展的光刻教学课程主要集中在加工原理方面,普遍缺乏配合理论知识学习的实际工艺操作实验。大连理工大学国家级示范性微电子学院自主设计、搭建了光刻实验平台以满足学生学习实践的需要。介绍了光刻实验平台系统的设备模...
关键词：光刻系统平台 集成电路技术 实验设计 
开展磁控溅射镀膜探索研究性实验课程的尝试被引量：2
《物理实验》2017年第4期34-38,共5页王奇 王艳辉 牟宗信 赵纪军 
国家自然科学基金青年基金项目(No.11405022);大连市高层次人才创新支持计划项目(No.2016RQ020);辽宁省高等教育教学改革研究项目;大连理工大学教改基金项目(No.ZHD201503);教育部教指委教改项目(No.01-201601-26)
磁控溅射镀膜实验涵盖了理工科大学生所认知的真空、高电压、材料制备等知识.结合大连理工大学国家级物理实验教学示范中心在探索研究性实验方面积累的教学经验与方法、等离子体物理国家重点学科的知识储备以及三束材料改性教育部重点...
关键词：探索研究性实验 镀膜技术 磁控溅射 
脉冲介质阻挡放电脱除N_2/NO体系中NO的模拟研究被引量：4
《高电压技术》2016年第2期405-413,共9页王艳辉 张瑞丽 孙继忠 张建红 王奇 王德真 
国家自然科学基金(11405022)~~
NO是重要的大气污染物之一,为了深入了解脉冲介质阻挡放电去除N2/NO体系中NO的机理,采用一维自洽的流体力学模型对N2/NO中大气压脉冲放电进行了模拟研究,并分析讨论了各种放电参数对NO去除效率的影响。模拟结果表明:NO的去除主要通过还...
关键词：介质阻挡放电 脉冲电压 N2/NO混合气体 NO脱除率 一维流体力学模型 大气压放电 
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