刘建设

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金刚石膜中氮杂质状态的研究
《功能材料》2004年第z1期3314-3316,3319,共4页金曾孙 吕宪义 杨广亮 吴汉华 李哲奎 刘建设 
国家"863"计划资助项目
用EA-CVD(Electron assisted Chemical Vapor Deposition)方法制备出金刚石膜,并且用拉曼光谱、荧光谱、红外吸收谱和顺磁共振谱研究了金刚石膜中的氮杂质.实验结果表明,用EA-CVD方法制备的金刚石膜中氮杂质主要是以Ns0、Ns+、[N-V]0和[...
关键词：EA-CVD方法 金刚石膜 氮杂质 
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