辛超

作品数：1被引量：1H指数：1
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不同电压下静电驱动膜片弹性变形分析被引量：1
《上海电力学院学报》2013年第4期330-332,共3页辛超 李丽伟 
基于静电场和弹性薄板理论,建立了周边固支边界条件下静电驱动圆膜弯曲的理论模型,同时对比两种情况得出了在不同驱动电压下的位移分析.通过计算实例获得了其结构的振动振型、谐振频率及极限加载电压,利用Ansys软件针对静电驱动结构的...
关键词：微机电系统 静电驱动 膜片 弹性变形 薄板理论 
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