王新征

作品数：1被引量：6H指数：1
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供职机构：西安理工大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：非晶硅薄膜扩散晶化过程晶化退火时间更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《人工晶体学报》更多>>
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退火时间对铝诱导非晶硅薄膜晶化过程的影响被引量：6
《人工晶体学报》2011年第2期370-373,378,共5页焦栋茂 王新征 李洪涛 郭烈萍 蒋百灵 
陕西省教育厅科学技术研究计划(09JK623)资助项目
基于铝诱导非晶硅薄膜固相晶化方法,利用直流磁控溅射离子镀技术制备了Al/Si/…Al/Si/glass周期性结构的薄膜。采用真空退火炉对Al/Si多层薄膜进行了500℃退火实验,通过透射电子显微镜(TEM)分析了不同退火时间下Al/Si多层薄膜截面形貌...
关键词：退火时间 非晶硅薄膜 晶化 扩散 
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