郭烈萍

作品数：2被引量：9H指数：2
导出分析报告
供职机构：西安理工大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：非晶硅薄膜扩散晶化过程晶化退火时间更多>>
发文领域：一般工业技术理学更多>>
发文期刊：《人工晶体学报》更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
退火时间对铝诱导非晶硅薄膜晶化过程的影响被引量：6
《人工晶体学报》2011年第2期370-373,378,共5页焦栋茂 王新征 李洪涛 郭烈萍 蒋百灵 
陕西省教育厅科学技术研究计划(09JK623)资助项目
基于铝诱导非晶硅薄膜固相晶化方法,利用直流磁控溅射离子镀技术制备了Al/Si/…Al/Si/glass周期性结构的薄膜。采用真空退火炉对Al/Si多层薄膜进行了500℃退火实验,通过透射电子显微镜(TEM)分析了不同退火时间下Al/Si多层薄膜截面形貌...
关键词：退火时间 非晶硅薄膜 晶化 扩散 
铝层厚度对铝诱导非晶硅薄膜晶化过程的影响被引量：7
《人工晶体学报》2011年第1期114-118,共5页梁戈 郭烈萍 李洪涛 蒋百灵 焦栋茂 
陕西省教育厅科学技术研究计划(09JK623)资助项目
基于铝诱导非晶硅薄膜固相晶化方法,利用直流磁控溅射离子镀技术制备了A l/S i/…A l/S i/glass周期性结构的薄膜。采用真空退火炉对A l/S i多层薄膜进行了500℃退火实验,通过透射电子显微镜(TEM)分析了退火前、后A l/S i多层薄膜截面...
关键词：铝层厚度 非晶硅薄膜 晶化过程 扩散 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部