李勇男

作品数：4被引量：3H指数：1
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供职机构：江南大学物联网工程学院更多>>
发文主题：溶液法A-I光学特性椭圆偏振光谱致密性更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊：《微电子学》《液晶与显示》更多>>
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高压退火气氛对溶液法制备a-IGZO薄膜光学特性的影响
《微电子学》2018年第5期690-694,共5页李勇男 向超 殷波 潘东 汤猛 钟传杰 
国家自然科学基金资助项目(60776056)
利用椭圆偏振光谱仪和原子力显微镜,研究了相同温度下不同退火气氛及压强处理对溶液旋涂法制备a-IGZO光学特性和薄膜微观结构的影响。实验结果表明,当退火气氛为O_2时,压强由0.1MPa增加到1.5MPa,薄膜的光学带隙由3.23eV增大到3.31eV,表...
关键词：退火气氛 椭圆偏振光谱 溶液法 a-IGZO薄膜 
a-IGZO/IZO厚度比对TFT特性的影响研究
《微电子学》2018年第4期533-536,547,共5页潘东 向超 殷波 李勇男 汤猛 钟传杰 
国家自然科学基金资助项目(60776056)
利用Silvaco TCAD软件中的Atlas模块,对底栅结构的双有源层a-IGZO/IZO薄膜晶体管(TFT)进行了仿真与模拟,研究了双有源层厚度比对TFT特性的影响。结果表明,该TFT的特性与有源层的厚度比密切相关。在给定参数条件下,当有源层的厚度比为20...
关键词：a-IGZO a-IZO 双有源层 异质结 态密度 
溶液法制备IGZO/IZO薄膜的电学特性研究
《微电子学》2018年第4期537-541,554,共6页殷波 李勇男 潘东 汤猛 向超 钟传杰 
国家自然科学基金资助项目(60776056)
基于溶液旋涂法、高压退火工艺,制备了非晶铟镓锌氧化物(IGZO)薄膜、铟锌氧化物(IZO)薄膜和双层IGZO/IZO薄膜,研究了这些薄膜的电学特性。结果表明,在相同制作工艺下,IGZO单层薄膜的电流随外加恒流源时间的偏移不明显,而双层IGZO/IZO薄...
关键词：溶液法 退火 IGZO 界面态 
H_2O_2对溶液法制备a-IGZO薄膜光学特性的影响被引量：3
《液晶与显示》2016年第12期1124-1130,共7页汤猛 李勇男 殷波 钟传杰 
国家自然科学基金资助项目(No.60776056)~~
基于溶液旋涂法和高压退火工艺制备了a-IGZO薄膜。采用椭圆偏振光谱分析仪以及原子力显微镜研究和分析了H_2O_2对薄膜的表面结构和光学特性的影响。实验结果表明,a-IGZO前驱液中不含H_2O_2的薄膜,退火温度从220℃升高到300℃,薄膜的光...
关键词：a-IGZO薄膜 H2O2溶液 椭圆偏振光谱 致密性 
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