魏巧灵

作品数：5被引量：33H指数：4
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供职机构：昆明贵金属研究所更多>>
发文主题：CVD化学气相沉积钽温度难熔金属更多>>
发文领域：金属学及工艺一般工业技术理学更多>>
发文期刊：《稀有金属材料与工程》《稀有金属》更多>>
所获基金：云南省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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反应气体流量对CVD钽性能影响研究被引量：4
《稀有金属》2013年第6期909-914,共6页蔡宏中 易健宏 魏巧灵 陈力 魏燕 胡昌义 
国家自然科学基金项目(50171031);云南省自然科学基金项目(2010zc251)资助
介绍了化学气相沉积（CVD）技术制备难熔金属钽涂层的原理及方法。利用TaC15-H2·HCl反应体系，以冷壁式化学气相沉积法在钼基体表面沉积了钽涂层。利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线物相分析仪（XRD）、显微硬度计等分析手段，研究了...
关键词：反应气体 化学气相沉积 钽涂层 性能 
CVD温度对钽沉积层性能的影响被引量：7
《稀有金属材料与工程》2012年第11期2037-2040,共4页蔡宏中 魏巧灵 魏燕 陈力 郑旭 胡昌义 
国家自然科学基金(50171031);云南省自然科学基金(2010zc251)
介绍了化学气相沉积(CVD)制备难熔金属钽涂层的原理及方法。采用冷壁式化学气相沉积法,在钼基体上沉积出难熔金属钽层。分析研究了CVD温度对沉积层的沉积速率、组织、结构和硬度等的影响。结果表明:在1000～1200℃温度范围,沉积速率随...
关键词：化学气相沉积 钽 组织 性能 
CVD温度对钽涂层组成、显微组织及形貌的影响被引量：9
《稀有金属》2012年第4期563-567,共5页蔡宏中 魏巧灵 陈力 王云 胡昌义 
国家自然科学基金资助项目(50171031);云南省自然科学基金资助项目(2010zc251)
利用TaCl2-H2-HCl反应体系,采用冷壁式化学气相沉积法(CVD)在钼基体表面沉积钽涂层。通过X射线衍射仪、金像显微镜及扫描电镜等手段,对不同沉积温度下钽涂层的组成、组织及形貌进行了研究。结果表明:在1000～1300℃范围内,钽沉积层的相...
关键词：化学气相沉积 钽涂层 相组成 显微组织 形貌 
钽的CVD动力学规律及显微组织被引量：4
《稀有金属材料与工程》2011年第5期844-848,共5页魏巧灵 蔡宏中 陈力 魏燕 毛传军 胡昌义 
国家自然科学基金(50771051);云南省自然科学基金
简述氢气还原氯化钽化学气相沉积钽(CVD)的主要原理,研究氯化、氯气流量、氢气流量和沉积温度4个参数对沉积速率及沉积层显微组织的影响。结果表明:氯化温度对沉积速率的影响最小,沉积温度的影响最大;显微组织由小晶粒区和柱状晶区组成...
关键词：CVD 沉积速率 显微组织 
化学气相沉积技术及在难熔金属材料中的应用被引量：13
《稀有金属材料与工程》2010年第A01期438-443,共6页黎宪宽 陈力 蔡宏中 魏巧灵 胡昌义 
国家自然科学基金(50771051);云南省自然科学基金资助
简述了化学气相沉积技术(Chemical Vapor Deposition,简称CVD)的发展历程及其应用领域;重点阐述CVD技术在难熔金属(W、Re、Ta、Mo、Nb)相关领域的应用概况并展望了其研究前景,特别指出CVD技术在制备难熔金属合金研究上存在的挑战和机遇。
关键词：化学气相沉积 难熔金属:应用发展 挑战和机遇 
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