程四兴

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发文主题:磁控溅射法衬底温度太阳电池更多>>
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衬底温度对CdTe/ZnTe多层薄膜制备的影响
《四川大学学报(自然科学版)》2012年第1期188-192,共5页程四兴 黎兵 唐萍 冯良桓 蔡亚平 张静全 李卫 武莉莉 曾广根 王文武 
国家自然科学基金(60506004);国家高技术研究与发展计划(0030105403034)
采用射频磁控溅射法制备了CdTe/ZnTe多层薄膜,并在制备单层CdTe薄膜和ZnTe薄膜的基础上,研究了衬底温度对CdTe/ZnTe多层薄膜性质的影响;通过XRD和透过谱、吸收谱的分析,对其结构进行了研究.结果表明在185℃下制备的CdTe/ZnTe多层膜中,C...
关键词:磁控溅射法 CdTe/ZnTe 太阳电池 衬底温度 
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