王聪瑜

作品数：3被引量：15H指数：2
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供职机构：北京科技大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题：刻蚀MGO放电等离子烧结气孔烧结温度更多>>
发文领域：金属学及工艺化学工程更多>>
发文期刊：《热喷涂技术》《粉末冶金技术》更多>>
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氧化钇稳定氧化锆耐刻蚀涂层的研究现状被引量：5
《粉末冶金技术》2015年第6期460-464,共5页纪箴 王聪瑜 夏洋 贾成厂 张有茶 程诚 黄小泓 
随着热喷涂技术的发展,通过制备陶瓷涂层来提高等离子刻蚀机腔室的耐腐蚀性能已成为可能。本文主要论述了氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层及其主要制备技术大气等离子喷涂的工艺过程,介绍了粉末特性及不同喷涂工艺参数对涂层性能的影响作...
关键词：YSZ涂层 等离子喷涂 涂层性能 
MgO和烧结温度对Al_2O_3陶瓷致密化过程的影响被引量：8
《粉末冶金技术》2015年第4期275-280,284,共7页程诚 纪箴 贾成厂 王召利 黄小泓 王聪瑜 
国际合作项目(2014DFR50570)
以高纯α-Al_2O_3粉体为原料,MgO为烧结助剂,采用放电等离子烧结技术(SPS)制备氧化铝陶瓷。研究了MgO添加量和烧结温度对氧化铝陶瓷致密化过程及显微结构的影响,并分析了烧结过程中气孔的扩散与演变。结果表明:添加适量MgO可以降低氧化...
关键词：Al_2O_3陶瓷 MGO 放电等离子烧结 致密化 气孔 
刻蚀腔室内衬用抗等离子体腐蚀涂层的研究现状被引量：2
《热喷涂技术》2014年第3期19-23,共5页张有茶 夏洋 贾永昌 张庆钊 王文东 刘金虎 王聪瑜 
02专项(2011ZX022401-007)
干法刻蚀(等离子体刻蚀)技术产生的等离子体会对半导体制造工艺以及微电子IC制造工艺中的刻蚀腔室内衬产生腐蚀。本文综述了国内外腔室防等离子体腐蚀用材料的发展历程与现状,从耐等离子体刻蚀材料、悬浮液等离子喷涂技术和在线监测技...
关键词：等离子体刻蚀 腔室内衬 悬浮液等离子喷涂 在线监测 
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