刘岩

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供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
发文主题：MEMSCMOS工艺CMOS电容式湿度传感器电容式传感器更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《电子器件》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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CMOS电容式湿度传感器特性研究
《电子器件》2011年第4期379-382,共4页刘岩 赵成龙 聂萌 秦明 
国家863高技术研究发展计划项目(2009AA04Z322);国家自然科学基金项目(60901009)
提出了一种CMOS电容式湿度传感器特性研究方案。研究所用的微电容湿度传感器由标准CMOS工艺结合MEMS后处理技术加工而成。为了测试湿度传感器的响应时间,设计了一种响应时间测试装置。测试结果表明,该电容式湿度传感器在相对湿度25%～95...
关键词：电容式传感器 湿度传感器 CMOS工艺 MEMS 
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