范青

作品数：2被引量：3H指数：1
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供职机构：河北大学物理科学与技术学院更多>>
发文主题：LI激光诱导击穿光谱铁电薄膜磁控溅射光谱诊断更多>>
发文领域：理学机械工程更多>>
发文期刊：《光谱学与光谱分析》《应用激光》更多>>
所获基金：河北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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磁控溅射沉积薄膜预溅射时间的光谱诊断被引量：1
《光谱学与光谱分析》2013年第3期595-599,共5页郭庆林 范青 崔永亮 董开虎 张磊 李旭 张金平 陈金忠 
国家自然科学基金项目(60876055);河北省自然科学基金项目(A2012201013)资助
利用Omni-λ300系列光栅光谱仪、CCD数据采集和处理系统以及光纤导光系统等构成的等离子体光谱分析系统,实现了实时获取射频磁控溅射过程中等离子体光谱,分别对NiTa,TiAl陶瓷靶,NiAl,TiAl合金靶四种靶材的磁控溅射过程产生的等离子体进...
关键词：等离子体发射光谱 光谱分析 磁控溅射 预溅射时间 
LIBS法测定薄膜组份比率精确度的研究被引量：2
《应用激光》2012年第5期420-423,共4页张金平 董开虎 范青 赵峰 李旭 陈金忠 郭庆林 
在常压空气环境下,利用脉冲激光作用于硅基铝酸镧薄膜,实验发现激光器能量为20 mJ,脉冲频率3 Hz,薄膜损伤小且能获得较好品质的光谱;并依据两分析元素光谱强度比与原子数比之间成一定的线性关系,对分析线的选择进行了实验研究,发现线性...
关键词：激光诱导击穿光谱 分析线对 铁电薄膜 组份比率 
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