张树敏

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：同济大学理学院精密光学工程技术研究所更多>>
发文主题：MO/SI多层膜软X射线更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《强激光与粒子束》更多>>
所获基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家高技术研究发展计划更多>>
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13.9nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜研究被引量：3
《强激光与粒子束》2006年第5期773-778,共6页张众 王占山 王洪昌 王风丽 吴文娟 张树敏 秦树基 陈玲燕 
国家863计划项目资助课题;教育部新世纪优秀人才支持计划资助课题
介绍了13.9 nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜的设计、制备与性能检测。基于分束镜反射率和透过率乘积最大的评价标准,设计了13.9 nm软X射线激光干涉实验用多层膜分束镜。采用磁控溅射方法在有效面积为10 mm×10 mm、厚度为100 nm的Si3N...
关键词：软X射线 分束镜 马赫贞德干涉仪 MO/SI多层膜 
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