秦树基

作品数：49被引量：207H指数：8
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供职机构：同济大学理学院精密光学工程技术研究所更多>>
发文主题：多层膜软X射线磁控溅射X射线X射线衍射仪更多>>
发文领域：理学机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《原子能科学技术》《北京同步辐射装置年报》《传感技术学报》《光学精密工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划上海市科委科技攻关项目上海市科学技术发展基金更多>>
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Mo/Si多层膜表面保护层设计被引量：4
《光子学报》2009年第1期160-164,共5页徐达 朱京涛 张众 王风丽 王晓强 王洪昌 蒋励 佘仕凤 王占山 秦树基 陈玲燕 
国家自然科学基金(10435050;10675092);国家863高技术研究与发展计划(2006AA12Z139)资助
为提高Mo/Si多层膜的稳定性与使用寿命,通过分析多层膜驻波电场的分布,对表面保护层及多层膜最上层材料的厚度进行优化设计,使优化后的反射率最高.计算表明,一定厚度的表面保护层总对应一个最优的最上层材料厚度.在13.36nm波长,膜对数...
关键词：薄膜光学 多层膜 表面保护层 驻波电场分布 反射率 
用X射线反射测量法表征双层结构中低原子序数材料的特性(英文)被引量：8
《光学精密工程》2007年第12期1838-1843,共6页徐垚 王占山 徐敬 张众 王洪昌 朱京涛 王风丽 王蓓 秦树基 陈玲燕 
Supported by the National Natural Science Foundation of China( No 60378021 and 10435050);the Programfor New Century Excellent Talents in University(No NCET-04-0376)
介绍了用X射线反射测量术表征双层薄膜中低原子序数材料特性的方法。由于低原子序数材料的光学常数与Si基板材料的光学常数非常接近,用X射线反射法确定镀制在Si基板上的低原子序数材料膜层结构的变化十分困难,因此,提出了在镀制低原子...
关键词：X射线衍射仪 低原子序数材料 反射率测试 薄膜 
极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件(英文)被引量：4
《光学精密工程》2007年第12期1886-1893,共8页朱京涛 王占山 王洪昌 张众 王风丽 秦树基 陈玲燕 崔明启 赵屹东 孙丽娟 周洪军 霍同林 
Supported by the National Natural Science Foundation of China (No 60378021 and 10435050);the Programfor New Century Excellent Talents in University (No NCET-04-0376)
研究了极紫外宽带多层膜偏振光学元件,包括反射式检偏器与透射式相移片。基于Mo/Si非周期多层膜结构,采用解析与数值优化相结合的方法进行了多层膜的设计;采用磁控溅射技术制备了多层膜。利用X射线衍射仪对非周期多层膜的结构进行了表征...
关键词：偏振光学元件 多层膜 相移片 检偏器 极紫外 同步辐射 
X射线Kirkpatrick-Baez显微镜用超反射镜的研制被引量：5
《强激光与粒子束》2006年第7期1095-1098,共4页顾春时 王占山 王风丽 张众 穆宝忠 秦树基 陈玲燕 
国家863计划项目资助课题;上海市博士后研究基金资助课题(05R214140);同济大学理科发展基金;教育部新世纪优秀人才支持计划资助课题(NCET-04-0376)
介绍了一种可应用于X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的光学元件X射线超反射镜。选用的W和B4C作为镀膜材料,膜对数为20,采用单纯型调优的方法实现了X射线超反射镜设计,用磁控溅射的方法在Si基片上完成了W/B4C X射线超反射镜的制备。采...
关键词：多层膜 X射线超反射镜 KB型显微镜 磁控溅射 反射 
基于非周期多层膜的X射线成像研究被引量：10
《光子学报》2006年第6期881-885,共5页顾春时 王占山 穆宝忠 王风丽 张众 秦树基 陈玲燕 
国家863-804-3项目(2004AA843081);上海市博士后研究基金(05R214140)资助项目
本文设计了惯性约束聚变(ICF)诊断实验用X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜,给出了系统的结构参量·使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟,结果表明:在8keV能点,放大率为8倍时,轴上点的最佳空间分辨率小于2μm,200微米视场的空...
关键词：KB型显微镜 X射线非周期多层膜 X射线成像 空间分辨率 
13.9nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜研究被引量：3
《强激光与粒子束》2006年第5期773-778,共6页张众 王占山 王洪昌 王风丽 吴文娟 张树敏 秦树基 陈玲燕 
国家863计划项目资助课题;教育部新世纪优秀人才支持计划资助课题
介绍了13.9 nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜的设计、制备与性能检测。基于分束镜反射率和透过率乘积最大的评价标准,设计了13.9 nm软X射线激光干涉实验用多层膜分束镜。采用磁控溅射方法在有效面积为10 mm×10 mm、厚度为100 nm的Si3N...
关键词：软X射线 分束镜 马赫贞德干涉仪 MO/SI多层膜 
PNN在混合气体分析中的应用被引量：2
《传感器与微系统》2006年第4期78-81,共4页秦树基 叶坚 
国家自然科学基金资助项目(29475200);工程物理研究院科学技术基金资助项目(960314)
把混合气体分析的问题转化为模式分类的问题来处理的新途径已被相关文献证明是可行的。然而,当感兴趣体积分数区被分成更多的子区域或混合气体组分数多于2时,模式类别数目的急剧增加使网络的输出节点数也大增。这不仅使计算工作量大增,...
关键词：概率神经网络 混合气体分析 数值模拟 
X射线用Kirkpatrick-Baez显微镜成像质量的研究被引量：5
《强激光与粒子束》2006年第1期61-65,共5页潘宁宁 王占山 顾春时 秦树基 陈玲燕 
国家863计划项目资助课题
对惯性约束聚变的一种重要诊断方法——Kirkpatrick-Baez型结构显微镜成像方法进行了研究。计算了Kirkpatrick-Baez型结构显微镜的主要像差．并分析得出：造成轴上点像差的主要因素是球差，占像差的94％。基于光线追迹方法模拟出这种结...
关键词：掠入射成像系统 X射线 光线追迹 空间分辨率 角度公差 
用于同步辐射单色器多层膜的研究被引量：2
《核技术》2005年第12期900-903,共4页张众 王占山 吴文娟 王洪昌 王风丽 顾春时 秦树基 陈玲燕 华巍 黄宇营 
上海市科委纳米专项基金资助;项目编号:0352nm090
结合Fensnel反射系数公式与Nevot-Croce模型,设计出了可以用于同步辐射单色器的W/B4C周期多层膜,并对其光学性能(反射率)做了模拟计算。采用高真空磁控溅射技术,实现不同周期的W/B4C周期多层膜的制备。利用英国BEDE公司出产的D1高分辨X...
关键词：多层膜 单色器 同步辐射 X射线荧光分析 
X射线超反射镜设计、制作与表征被引量：1
《中国科学（G辑）》2005年第5期499-512,共14页王占山 王风丽 张众 程鑫彬 秦树基 陈玲燕 
国家自然科学基金项目(批准号:60178023);上海市科技发展基金项目(批准号:0352nm090)资助
探讨了X射线波段超反射镜的设计,采用了周期膜堆作初始条件加单纯形局域优化和模拟退火全局优化方法,设计了工作能量为Cu的Kα(8.0keV)线的不同掠入射角和不同角度带宽的宽角度X射线超反射镜和8～25keV范围内不同掠入射角和不同能量带...
关键词：X射线 超反射镜 磁控溅射 多层膜 反射率 X射线超反射镜 设计值 全局优化方法 表征 制作 
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