云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 孙丽娟

孙丽娟: 作品数：1被引量：4H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：中国科学院高能物理研究所更多>>; 发文主题：MO/SI极紫外宽带多层膜相移更多>>; 发文领域：理学一般工业技术机械工程更多>>; 发文期刊：《光学精密工程》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金更多>>

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极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件(英文)被引量：4: 《光学精密工程》2007年第12期1886-1893,共8页朱京涛王占山王洪昌张众王风丽秦树基陈玲燕崔明启赵屹东孙丽娟周洪军霍同林; Supported by the National Natural Science Foundation of China (No 60378021 and 10435050);the Programfor New Century Excellent Talents in University (No NCET-04-0376); 研究了极紫外宽带多层膜偏振光学元件,包括反射式检偏器与透射式相移片。基于Mo/Si非周期多层膜结构,采用解析与数值优化相结合的方法进行了多层膜的设计;采用磁控溅射技术制备了多层膜。利用X射线衍射仪对非周期多层膜的结构进行了表征...; 关键词：偏振光学元件多层膜相移片检偏器极紫外同步辐射