骆心仪

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供职机构：南京航空航天大学材料科学与技术学院更多>>
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间歇溅射和分段冷却对ZnO薄膜结构的影响
《电子元件与材料》2006年第5期16-18,共3页常春荣 李子全 徐芸芸 周衡志 骆心仪 
南京大学近代声学国家重点实验室基金资助项目(基金号:0102)
用超高真空射频磁控溅射技术制备了高c轴取向的ZnO薄膜，并用XRD和SEM研究了溅射和冷却方式对ZnO薄膜结构性能和工艺性能的影响。结果表明：与连续溅射相比，间歇溅射可以降低ZnO（002）的晶面间距，晶粒长大致密化，随着间歇时间的延...
关键词：半导体技术 ZNO薄膜 间歇溅射 分段冷却 
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