陈小松

作品数:2被引量:1H指数:1
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供职机构:华中师范大学物理科学与技术学院更多>>
发文主题:CU电学性能性能研究工艺参数更多>>
发文领域:化学工程更多>>
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Cu_3N薄膜制备及其性能研究
《信息记录材料》2010年第4期60-64,共5页张昌印 陈小松 尹玉丽 吴绍彬 杨磊 黄致新 
国家大学生创新性实验项目基金资助
Cu3N薄膜的晶面取向、沉积速率、电学特性等性质除与制备方法有关外,还和制备工艺参数有很大关系。溅射法制备Cu3N薄膜工艺参数主要有,混合气体(N2+Ar)中氮气分压比r、基底温度T(℃)、溅射功率P(W)。为了研究Cu3N薄膜的性能与其制备工...
关键词:Cu3N薄膜 工艺参数 性能 
Ni掺杂对Cu_3N薄膜结构与性能的影响被引量:1
《信息记录材料》2010年第3期52-55,共4页陈小松 尹玉丽 张昌印 吴绍彬 杨磊 黄致新 
国家大学生创新性实验项目基金资助
采用射频反应磁控溅射方法在玻璃基底上制备了Ni掺杂Cu3N薄膜,并研究了Ni掺杂对Cu3N的结构、电学性能和光学性能的影响。研究发现:Ni的加入使得Cu3N薄膜的(111)晶面向小角度偏移;随着Ni含量的增加,Cu3N薄膜的电阻率从1450×10-6Ω.cm减...
关键词:Cu3N薄膜 Ni掺杂 电学性能 光学能隙 
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