谢玉鹏

作品数：1被引量：1H指数：1
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p型未掺杂富锌ZnO薄膜的形成和性能研究被引量：1
《物理实验》2006年第11期3-6,17,共5页杨通 崔海峰 邢国忠 关丽秀 丛春晓 谢玉鹏 姚斌 
以高纯ZnO为靶材,氩气为溅射气体．利用射频磁控溅射技术在石英衬底上生长出纤锌矿结构的富锌ZnO薄膜．薄膜沿（002）择优取向生长，厚约为1．2μm．呈现电绝缘特性．将溅射的ZnO薄膜在10^-3Pa·510～1000K的温度范围等温退火1h，室温H...
关键词：ZNO薄膜 磁控溅射 导电性能 
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