杨程

作品数:3被引量:6H指数:2
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供职机构:南京理工大学化工学院更多>>
发文主题:MEMS点火AL/TI性能研究纳米更多>>
发文领域:化学工程兵器科学与技术更多>>
发文期刊:《火工品》《爆破器材》更多>>
所获基金:中国人民解放军总装备部预研基金江苏省自然科学基金更多>>
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多层Al/Ti纳米含能桥膜的电爆性能研究被引量:2
《爆破器材》2015年第1期33-36,共4页杨程 胡艳 沈瑞琪 叶迎华 
江苏省自然科学基金青年基金项目(BK20140788);总装预研基金(9140A05070114BQ02073)
利用磁控溅射法制备了不同调制周期的多层Al/Ti纳米含能桥膜,并在电容放电激励下对其电爆性能进行测试,Al/Ti纳米含能桥膜的爆发时间随着电压的增大而降低,而等离子体持续时间随着电压的增加而增大。高速摄影仪记录的Al/Ti纳米含能桥膜...
关键词:纳米含能桥膜 AL/TI 调制周期 电爆性能 
射频磁控溅射法制备硼薄膜被引量:1
《火工品》2013年第1期5-9,共5页刘玉杰 胡艳 杨程 叶迎华 沈瑞琪 李创新 
采用射频(RF)磁控溅射技术在单晶硅(Si)基底上制备了硼(B)薄膜,研究了工作气压和溅射功率对薄膜沉积速率及薄膜质量的影响,并对薄膜的微观形貌和组成成分进行了表征。结果表明:当气压为0.3Pa时,B薄膜的沉积速率最大;沉积速率随溅射功率...
关键词:硼薄膜 射频磁控溅射 制备 形貌表征 成分分析 
图形反转剥离工艺用于复合含能点火桥膜的制备被引量:3
《火工品》2012年第4期1-5,共5页王成玲 叶迎华 沈瑞琪 杨程 余协正 朱莹 
为了制备高点火能力的复合含能桥膜,对图形反转剥离工艺进行研究,发现其倒梯形的光刻胶剖面有利于制备高精度的厚膜图形。以Ti为过渡层,在Si3N4/Si基底上成功制备出线宽80μm、厚度2μm的W型Ni/Al多层复合含能桥膜,形状完整清晰;SEM和ED...
关键词:MEMS 图形反转 剥离 含能桥膜 点火 
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