吕婷

作品数：1被引量：4H指数：1
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6英寸高均匀性P型硅外延片的工艺研究被引量：4
《电子与封装》2015年第9期36-39,共4页吕婷 李明达 陈涛 
主要进行了6英寸(152.4 mm)高均匀性P型硅外延片的生产工艺研究。利用PE-2061S型桶式外延炉,在重掺硼的硅衬底上化学气相沉积P/P+型硅外延层。通过流场调节工艺、基座包硅工艺、变流量解吸工艺、两步生长工艺等关键工艺的改进,对非主动...
关键词：6英寸 均匀性 P型硅外延 非主动掺杂 
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