刘雪华

作品数:1被引量:3H指数:1
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供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
发文主题:离子注入退火温度压块压杆胶水更多>>
发文领域:理学更多>>
发文期刊:《无机材料学报》更多>>
所获基金:江苏省自然科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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AlN:Er薄膜在不同退火温度下应力诱导的微观结构演变被引量:3
《无机材料学报》2016年第3期285-290,共6页阳明明 莫亚娟 王晓丹 曾雄辉 刘雪华 黄俊 张纪才 王建峰 徐科 
国家自然科学基金(61306004;51002179;11247023;51272270;61274127;61474133);江苏省自然科学基金(BK20130263;BK2012630);国家基础研究计划973项目(2012CB619305);中科院引进国外杰出技术人才项目;苏州纳米科技协同创新中心资金~~
以透射电镜中的弱束衍衬成像和高分辨相位衬度成像为主要表征手段,辅以X射线衍射、拉曼光谱等测试方法,对Al N:Er样品在退火过程中的微观结构演变过程进行了深入分析。在透射电镜观察下,Er离子注入的Al N样品在退火前存在三个区域:区域...
关键词:AlN:Er 离子注入 微观结构演变 
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