马攀

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：中国航空工业集团公司中国空空导弹研究院更多>>
发文主题：INSB锑化铟湿法腐蚀更多>>
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InSb(111)、(211)及(110)晶面腐蚀极性研究被引量：2
《激光与红外》2009年第10期1078-1081,共4页马攀 陈湘伟 司俊杰 
极性是InSb晶体结构的一种属性,文中研究了这种极性对InSb晶片湿法腐蚀的影响,并对这种极性产生的原因进行了分析。结果表明,对于工艺中常用的CP4腐蚀液,(111)及(211)晶面腐蚀时表现出极性,(111)A面平均腐蚀速率为2.2μm/s,(111)B面的...
关键词：锑化铟 湿法腐蚀 极性 
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