闻化

作品数:2被引量:9H指数:1
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石英晶体谐振式绝对压力传感器研制被引量:1
《传感器与微系统》2008年第1期85-86,89,共3页潘安宝 闻化 姚东媛 高成臣 谢树海 
介绍了一体化石英谐振式压力传感器的研制,采用石英晶体材料制做弹性膜片,用音叉式石英力敏谐振器检测压力,减少了传感器的体积,降低了制造工艺难度。研制的传感器量程为0-120kPa,中心频率为(40±4)kHz,精度为0.05%。
关键词:石英晶体 谐振 压力传感器 
硅—蓝宝石高温大量程压力传感器设计被引量:8
《传感器与微系统》2007年第12期97-99,共3页闻化 张爱平 张枫 高成臣 姚东嫒 
介绍了一种硅-蓝宝石高温大量程压力传感器的设计,提出了采用小直径C型膜片的一体化结构,通过合理排布力敏电阻条位置,能够制作出高精度大量程压力传感器。采用该设计研制出了量程分别为60MPa和100MPa压力传感器,其工作温度范围为-5...
关键词:硅-蓝宝石 压力传感器 结构设计 
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