姚东嫒

作品数:1被引量:8H指数:1
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硅—蓝宝石高温大量程压力传感器设计被引量:8
《传感器与微系统》2007年第12期97-99,共3页闻化 张爱平 张枫 高成臣 姚东嫒 
介绍了一种硅-蓝宝石高温大量程压力传感器的设计,提出了采用小直径C型膜片的一体化结构,通过合理排布力敏电阻条位置,能够制作出高精度大量程压力传感器。采用该设计研制出了量程分别为60MPa和100MPa压力传感器,其工作温度范围为-5...
关键词:硅-蓝宝石 压力传感器 结构设计 
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