高成臣

作品数:4被引量:17H指数:2
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石英晶体谐振式绝对压力传感器研制被引量:1
《传感器与微系统》2008年第1期85-86,89,共3页潘安宝 闻化 姚东媛 高成臣 谢树海 
介绍了一体化石英谐振式压力传感器的研制,采用石英晶体材料制做弹性膜片,用音叉式石英力敏谐振器检测压力,减少了传感器的体积,降低了制造工艺难度。研制的传感器量程为0-120kPa,中心频率为(40±4)kHz,精度为0.05%。
关键词:石英晶体 谐振 压力传感器 
硅—蓝宝石高温大量程压力传感器设计被引量:8
《传感器与微系统》2007年第12期97-99,共3页闻化 张爱平 张枫 高成臣 姚东嫒 
介绍了一种硅-蓝宝石高温大量程压力传感器的设计,提出了采用小直径C型膜片的一体化结构,通过合理排布力敏电阻条位置,能够制作出高精度大量程压力传感器。采用该设计研制出了量程分别为60MPa和100MPa压力传感器,其工作温度范围为-5...
关键词:硅-蓝宝石 压力传感器 结构设计 
深海高流速传感器研制被引量:1
《传感器技术》2003年第5期26-28,共3页李艳杰 崔光浩 高成臣 
阐述了深海高流速传感器的工作原理、结构设计、工艺研究及信号处理技术,该传感器中流速测量采用毕托管原理,利用差压传感器测量流体总压与静压差,流向测量采用水向标原理,角度变化由磁阻芯片检测,并采用单片机进行数据采集和后续处理,...
关键词:流速传感器 工作原理 结构设计 信号处理技术 毕托管原理 高静压 
微型风速风向传感器研制被引量:7
《传感器技术》2003年第3期25-26,29,共3页李艳杰 高成臣 文彬 
阐述了微型风速风向传感器的工作原理,结构设计及工艺研究,该传感器采用硅微机械加工技术制成微悬桥结构,将加热电阻器与感温电阻器排布在悬桥上,降低了功耗,提高了传感器灵敏度,实现低风速风场测量。
关键词:硅微桥 风向 风速 传感器 
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