黄昊鹏

作品数：2被引量：7H指数：2
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供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：衍射效率反射型光栅宽带测试环境更多>>
发文领域：理学机械工程更多>>
发文期刊：《中国激光》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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退火对金属介质多层膜的界面扩散及抗化学清洗性能的影响被引量：2
《中国激光》2016年第10期133-139,共7页张洪 晋云霞 孔钒宇 黄昊鹏 崔云 胡国行 李响潭 葛雯娜 叶邦角 
国家自然科学基金(61405225;61405219)
对金属介质多层膜样品进行不同温度的退火处理。实验发现,当退火温度为350℃时,在样品Au层与SiO_2层的界面处出现过渡层,样品具有很强的抗化学清洗能力。利用透射电子显微镜观测与能谱仪分析发现,过渡层的出现主要是Cr原子从Au层底部扩...
关键词：材料 界面扩散 化学清洗 退火 粘附力 
基底晶态对HfO_2薄膜晶向结构和力学特性的影响被引量：5
《中国激光》2016年第6期129-133,共5页郭佳露 刘晓凤 赵元安 邵建达 赵娇玲 黄昊鹏 崔岩岩 
国家自然科学基金(61308012)
用电子束蒸发技术在晶体及激光陶瓷两种基底上沉积了氧化铪(HfO_2)单层膜,采用掠角X射线衍射(GIXRD)技术和纳米划痕仪对薄膜的晶向结构和力学特性进行了研究。实验结果表明,HfO_2薄膜在单晶晶体和多晶陶瓷基底上均呈现多晶态结构,均呈(0...
关键词：薄膜 HFO2 晶向结构 结合力 激光陶瓷 晶体 
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