郑晓航

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：吉林大学材料科学与工程学院材料科学系更多>>
发文主题：磁性能表面粗糙度FE-N薄膜膜厚偏压更多>>
发文领域：金属学及工艺更多>>
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偏压对直流磁控溅射Fe-N薄膜结构及性能的影响被引量：1
《材料科学与工艺》2008年第6期773-775,780,共4页李伟力 郑晓航 周庚衡 薛宗伟 
为了揭示偏压对溅射态Fe-N薄膜磁学行为的影响规律及机理,采用直流磁控溅射工艺在不同偏压下制备了Fe-N薄膜.利用掠入射X射线衍射、小角X射线散射技术和振动样品磁强计研究了薄膜的相结构、厚度、表面粗糙度以及磁性能.结果表明,增加偏...
关键词：FE-N薄膜 偏压 膜厚 表面粗糙度 磁性能 
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