王爱娜

作品数：2被引量：13H指数：2
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：六边形微机电系统英文化学传感器动态模式更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《传感技术学报》更多>>
所获基金：教育部重点实验室基金中国科学院重点实验室基金更多>>
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静电排斥驱动六边形MEMS微镜(英文)被引量：8
《纳米技术与精密工程》2010年第2期171-176,共6页胡放荣 王爱娜 邱传凯 姚军 
中国科学院重点实验室创新基金资助项目(CXJJ-09-S05);湖南师范大学低维量子结构与调控教育部重点实验室基金资助项目(Q51C0909)
为消除静电吸引型微镜因存在静电吸合效应而导致的短路现象,基于电场的非均匀分布可以产生静电排斥力的原理,设计了一种静电排斥型六边形微机械反射镜.微镜包含7组驱动电极,最大的一组驱动电极由镜面和其正下方的六边形下电极组成,其他...
关键词：微机电系统 微镜 静电驱动器 表面微加工 
基于微悬臂梁的化学传感器的灵敏度研究被引量：5
《传感技术学报》2008年第8期1333-1336,共4页王大甲 胡放荣 姚军 邱传凯 王爱娜 
中科院光电技术研究所“百人计划”科研基金资助
基于探测的原理,在动态模式下,首先对不同结构梁的本征频率偏移量进行了有限元分析,结果表明三角形梁的灵敏度最高。然后重点针对不同结构参数的三角形梁进行了动态计算,获得了其频率偏移量随结构参数变化的关系曲线。另外,通过静态模...
关键词：化学传感器灵敏度 三角形微悬臂梁 动态模式 静态模式 
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