王大甲

作品数：3被引量：12H指数：2
导出分析报告
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：静电驱动变形镜镜面MEMS波长可调更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术电气工程更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《微纳电子技术》更多>>
所获基金：中国科学院“百人计划”更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
MEMS二维静电驱动扫描镜设计和分析被引量：6
《微纳电子技术》2009年第5期296-300,共5页马文英 姚军 任豪 王大甲 
中科院国际创新实验室基金(CXJJ-O9-S05)
给出了一种静电驱动二维微扫描镜的设计和制造方案,所设计的扫描镜具有绕X轴和Y轴转动的两个自由度,并具有体积小、功耗低、频率高等优点。推导了镜面旋转角表达式并分析了吸合效应。利用POL YMUMPS工艺完成了对扫描镜的加工,并着重分...
关键词：MEMS 二维扫描镜 模态 动态响应 偏转角 
基于微悬臂梁的化学传感器的灵敏度研究被引量：5
《传感技术学报》2008年第8期1333-1336,共4页王大甲 胡放荣 姚军 邱传凯 王爱娜 
中科院光电技术研究所“百人计划”科研基金资助
基于探测的原理,在动态模式下,首先对不同结构梁的本征频率偏移量进行了有限元分析,结果表明三角形梁的灵敏度最高。然后重点针对不同结构参数的三角形梁进行了动态计算,获得了其频率偏移量随结构参数变化的关系曲线。另外,通过静态模...
关键词：化学传感器灵敏度 三角形微悬臂梁 动态模式 静态模式 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部