吕楠

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供职机构：浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所更多>>
发文主题：传感器光学邻近效应光刻系统光刻仿真多边形更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《传感器与微系统》更多>>
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用于光刻系统仿真的多边形处理算法
《传感器与微系统》2014年第9期124-127,共4页吕楠 史峥 罗凯升 耿臻 
国家自然科学基金资助项目(61204111)
为提高光刻仿真效率,通过对光刻原理进行研究,提出了2种多边形处理算法,将掩模上的多边形图案进行切分优化,将其划分成若干矩形或三角形。在Linux环境下应用C语言设计出一个完整的光刻仿真系统,设计的具体光学参数为:光源波长为193nm,...
关键词：传感器 多边形切分 光刻仿真 光学邻近效应 部分相干系数 
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