云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 王长庚

王长庚: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>; 发文主题：衍射效率离子束刻蚀紫外全息凹面光栅更多>>; 发文领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>; 发文期刊：《长春工业大学学报》更多>>; 所获基金：中国科学院重大科研装备研制项目国家重大技术装备创新研制项目吉林省科技发展计划基金国家高技术研究发展计划更多>>

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紫外全息凹面光栅离子束刻蚀技术: 《长春工业大学学报》2013年第6期640-644,共5页王长庚; "863"重大项目(2010AA1221091001);国家重大科研装备开发专项(2011YQ120023);国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1);中国科学院重大科研装备研制项目(YZ201005);吉林省科技发展计划项目(20070523;20086013); 通过对引出的平行离子束流外加可控磁场,可以实现离子束流偏转。该方法实现IV型凹面光栅沿曲面不同闪耀角离子束刻蚀,能够获得高衍射效率的IV型凹面光栅。经过理论设计计算出理想的IV型凹面光栅闪耀角,利用全息曝光-弯转离子束刻蚀工艺...; 关键词：束流控制衍射效率离子束刻蚀凹面光栅