邹旻

作品数:2被引量:15H指数:2
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供职机构:常州大学更多>>
发文主题:超临界CO2沉积层超临界二氧化碳流体均匀性温度更多>>
发文领域:化学工程更多>>
发文期刊:《材料保护》《稀有金属材料与工程》更多>>
所获基金:江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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MEMS微器件电沉积层均匀性的研究进展被引量:8
《稀有金属材料与工程》2011年第12期2245-2251,共7页王星星 雷卫宁 刘维桥 姜博 邹旻 
国家自然科学基金项目(50875116);江苏省自然科学基金项目(BK2006043)
有效地改善沉积层厚度均匀性是电化学沉积技术应用的关键,简述了微电铸原理,综述了国内外微器件沉积层均匀性的最新研究进展,包括优化工艺参数、脉冲电流与换向脉冲电流、改善传质条件、辅助阴极、阴极屏蔽、阳极特性及数值模拟仿真技...
关键词:微器件 电铸 沉积层 均匀性 超临界CO2 
超临界二氧化碳流体电镀镍溶液特性的数值分析被引量:8
《材料保护》2010年第10期7-10,共4页王星星 雷卫宁 刘维桥 邹旻 
国家自然科学基金项目(50875116);江苏省自然科学基金项目(BK2006043)
采用超临界CO2电沉积方法制备高性能纳米晶粒沉积层,是制备纳米材料(镀层)的一种新方法。针对超临界条件下压力和温度参数对电镀体系乳化液电阻特性的影响,建立了其优化数学模型,利用MATLAB软件最优化工具箱和anoval2方差分析函数进行...
关键词:电镀镍 超临界CO2 溶液特性 数值分析 压力 温度 电阻 
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