宋洵奕

作品数：1被引量：1H指数：1
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ULSI/GLSI低Na CMP浆料的纯化效率被引量：1
《微纳电子技术》2011年第10期669-673,共5页甘小伟 刘玉岭 何彦刚 李伟娟 王娟 宋洵奕 
国家中长期发展规划重大专项项目(2009ZX02308)
采用离子交换法去除ULSI/GLSI CMP浆料SiO2水溶胶中的Na+。介绍了微电子专用CMP SiO2水溶胶纯化的研究现状。实验分析了SiO2水溶胶中Na+与阳离子树脂的交换机理,硅溶胶中Na+去除分为硅溶胶溶液中Na+的去除和被硅溶胶胶团吸附Na+的去除...
关键词：化学机械平坦化技术(CMP) 浆料 纯化 离子交换 NA^+ 
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