云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 孙硕

孙硕: 作品数：1被引量：1H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：浙江大学信息科学与工程学院光电信息工程学系更多>>; 发文主题：薄膜光学反函数误差分析椭偏法隐函数更多>>; 发文领域：理学更多>>; 发文期刊：《浙江大学学报（工学版）》更多>>; 所获基金：高等学校特色专业建设点项目浙江省新世纪高等教育教学改革研究项目更多>>

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椭偏参数测量误差对薄膜参数测试精度的影响被引量：1: 《浙江大学学报（工学版）》2011年第8期1485-1489,共5页林远芳黄强盛茹启田孙硕郑晓东; 教育部;财政部第4批高等学校特色专业建设点资助项目(TS11458);浙江省新世纪高等教育教学改革资助项目(yb2010005);浙江大学2011年度本科教学方法改革资助项目(SY-6); 为了分析透明均匀介质膜的椭偏方程中所隐含的椭偏参数和薄膜参数(膜厚、折射率)之间的误差关系,提出基于误差传递公式和反函数组定理,通过求出椭偏参数对薄膜参数的偏导在名义膜厚和名义折射率处的值来反求后者对前者的偏导值,进而绘...; 关键词：薄膜光学椭偏法椭偏方程超越方程隐函数反函数误差分析