于浩

作品数：2被引量：13H指数：2
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供职机构：中国燃气涡轮研究院更多>>
发文主题：一体化SEEBECK系数时效处理金属基塞贝克系数更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《电子元件与材料》《测控技术》更多>>
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功能-结构一体化NiCr/NiSi薄膜热电偶的制备被引量：9
《测控技术》2011年第10期1-4,共4页王从瑞 蒋洪川 陈寅之 张万里 刘兴钊 唐磊 于浩 
采用多层薄膜结构制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶,该薄膜热电偶依次由Ni基超合金基片、NiCrAlY过渡层、Al_O_3热氧化层、Al_O_3绝缘层、NiCr/NiSi薄膜热电偶层以及Al_O_3保护层构成。主要研究了热电偶层薄膜厚度和时效处理对热电偶性能的影...
关键词：NiCr/NiSi薄膜热电偶 时效处理 SEEBECK系数 相对灵敏度 
金属基NiCr-NiSi薄膜热电偶的制备及性能研究被引量：7
《电子元件与材料》2010年第9期6-8,共3页姚飞 蒋洪川 张万里 刘兴钊 唐磊 于浩 
国防预研基金资助项目
采用电子束蒸发和磁控溅射法在Ni基超合金基片上制备NiCr-NiSi薄膜热电偶,薄膜热电偶依次由Ni基超合金基片、NiCrAlY过渡层、Al2O3热氧化层、氧化铝绝缘层、NiCr-NiSi薄膜热电偶层以及氧化铝保护层构成。对此薄膜热电偶样品的静态标定...
关键词：NiCr-NiSi薄膜热电偶 静态标定 塞贝克系数 
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