于丽君

作品数：1被引量：6H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团公司第二研究所更多>>
发文主题：厚度均匀性多晶硅片少子寿命影响因素更多>>
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多晶硅片少子寿命的影响因素研究与分析被引量：6
《电子工业专用设备》2012年第6期26-30,共5页于丽君 段晋胜 
为了提高多晶硅片的转换效率,提高多晶硅片少子寿命是一个重要的方法和途径,然而在生产过程中影响多晶硅片少子寿命的因素有很多,主要有杂质含量,硅片厚度及晶粒尺寸均匀性等。通过对分凝原理的研究,利用微波光电导测试原理对多晶硅锭...
关键词：多晶硅片 少子寿命 杂质含量 厚度 均匀性 
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