王凯亮

作品数:2被引量:2H指数:1
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供职机构:昆明理工大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题:磁控共溅射AL磁控溅射表面形貌复合膜更多>>
发文领域:一般工业技术金属学及工艺更多>>
发文期刊:《金属热处理》《热加工工艺》更多>>
所获基金:国家自然科学基金更多>>
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铝合金表面磁控溅射Al-Al_2O_3复合涂层的结构及耐腐蚀性能被引量:1
《热加工工艺》2016年第10期157-160,共4页王凯亮 孙勇 郭中正 段永华 孙国琪 
国家自然科学基金资助项目(51201079)
用Al和Al_2O_3双靶磁控共溅射工艺在抛光铝合金衬底上制备了Al-Al_2O_3复合涂层,同时制备纯Al涂层作对比。利用X射线衍射仪和场发射扫描电镜研究了Al-Al_2O_3复合涂层的微观结构和形貌,通过划痕实验和电化学腐蚀实验对复合涂层的膜基结...
关键词:磁控共溅射 Al-Al2O3复合涂层 微观结构 膜基结合力 耐腐蚀性 
磁控共溅射沉积Al-Al_2O_3复合膜的结构与性能被引量:1
《金属热处理》2016年第1期184-189,共6页王凯亮 孙勇 郭中正 段永华 孙国琪 
国家自然科学基金(51201079)
用直流(DC)和射频(RF)磁控共溅射法在硅衬底上制备Al-Al_2O_3复合膜,用射频磁控溅射Al_2O_3膜作对比。通过XPS、XRD、HRTEM、FESEM和SPM研究了Al-Al_2O_3复合膜和纯Al_2O_3膜的微观结构和表面形貌,用纳米压痕仪和材料表面性能测试仪测...
关键词:磁控共溅射 Al-Al2O3复合膜 微观结构 表面形貌 显微硬度 抗摩擦磨损性能 
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