宴良宏

作品数:1被引量:5H指数:1
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供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心更多>>
发文主题:SIO2薄膜二氧化硅薄膜后处理椭偏仪溶胶-凝胶更多>>
发文领域:理学更多>>
发文期刊:《强激光与粒子束》更多>>
所获基金:教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家高技术研究发展计划更多>>
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溶胶-凝胶SiO2薄膜氨热两步后处理被引量:5
《强激光与粒子束》2008年第6期956-960,共5页章春来 祖小涛 蒋晓东 袁晓东 王毕艺 宴良宏 张洪亮 徐世珍 田东斌 尹伟 赵松楠 吕海兵 
国家高技术发展计划项目;教育部新世纪优秀人才支持计划资助课题(NCET-04-0899)
以正硅酸乙酯为前驱体,氨水作催化剂,采用溶胶-凝胶法提拉镀制SiO2双面膜,对薄膜进行氨处理和热处理。采用椭偏仪、分光光度计、红外光谱、扫描探针显微镜、静滴接触角测量仪表征薄膜的特性。研究表明:经氨热两步后处理,膜厚持续减小,...
关键词:溶胶-凝胶 二氧化硅薄膜 氨处理 热处理 椭偏仪 
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