史文博

作品数：3被引量：25H指数：2
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供职机构：中国科学院金属研究所更多>>
发文主题：SUB复合材料微型传感器热电薄膜热电更多>>
发文领域：一般工业技术金属学及工艺理学更多>>
发文期刊：《表面技术》《真空与低温》《真空》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金沈阳市科学技术计划项目更多>>
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沉积工艺参数对电弧离子镀薄膜沉积速率影响的研究进展被引量：10
《真空与低温》2020年第5期385-391,共7页赵彦辉 史文博 刘忠海 赵升升 王铁钢 于宝海 
国家自然科学基金(51875555、51171197)。
阴极电弧离子镀技术作为工业应用最多的真空镀膜技术之一,近年来得到了长足发展。但是仍存在一些技术问题尚未完全解决,如大颗粒污染、所沉积的薄膜残余应力大、不能实现低温沉积等。另一方面,电弧离子镀的沉积效率仍有待提高,尽管与同...
关键词：电弧离子镀 沉积速率 磁场 辅助阳极 
电弧离子镀沉积工艺参数的影响被引量：15
《真空》2018年第6期49-59,共11页赵彦辉 史文博 刘忠海 刘占奇 于宝海 
电弧离子镀是真空镀膜技术中最常用的技术之一,目前在科学研究及工业生产中都得到了长足发展。但是在薄膜沉积过程中的工艺参数如弧电流、沉积气压、沉积温度等对薄膜结构及性能的影响多分散于不同的文献中,不利于对这些参数的认识与深...
关键词：电弧离子镀 弧电流 沉积气压 基体偏压 沉积温度 
弧光离子源耦合轴向磁场等离子体渗氮处理奥氏体不锈钢被引量：2
《表面技术》2018年第11期1-8,共8页刘兴龙 赵彦辉 蔺增 史文博 巴德纯 于宝海 V.E.Ovcharenko 
国家自然科学基金(51775096);沈阳市科学技术计划项目(F16-080-8-00;Y17-0-003);中央高校基本科研业务费项目重大科技创新项目(N141008001/2)~~
目的提高奥氏体不锈钢的硬度、抗磨损性能。方法利用弧光离子源耦合轴向磁场,对奥氏体不锈钢表面进行等离子体渗氮处理。通过场发射扫描电子显微镜对渗氮层表面形貌及厚度进行分析。利用球盘式摩擦磨损试验机、维氏显微硬度测试仪对渗...
关键词：弧光离子源 轴向磁场 等离子体渗氮 奥氏体不锈钢 耐磨性 显微硬度 
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