吉帅

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供职机构:淮阴师范学院物理与电子电气工程学院物理系更多>>
发文主题:CO掺杂半绝缘砷化镓半绝缘GAAS非晶碳膜制备更多>>
发文领域:理学更多>>
发文期刊:《大学物理》更多>>
所获基金:江苏省自然科学基金更多>>
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半绝缘GaAs的欧姆接触电极材料Ag/Co掺杂的非晶碳膜制备与检测
《大学物理》2017年第6期78-81,共4页杜维嘉 翟章印 吉帅 藏婷玉 
江苏省自然科学基金(BK20140450);江苏省高等学校大学生创新创业训练计划项目(201510323016z)资助
稳定的欧姆接触对半导体器件的正常工作起到至关重要的作用.目前市场上主要采用金/金锗镍合金作为n型GaAs的电极材料,工艺复杂,成本高昂.本文研究了一种新型的、廉价的适用于半绝缘GaAs的欧姆接触电极材料Ag/Co掺杂的非晶碳膜及其制备过...
关键词:半绝缘砷化镓 欧姆接触 光电导 
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