周洪彪

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：哈尔滨工业大学深圳研究生院更多>>
发文主题：衬底温度沉积温度AZO薄膜电阻率氢化更多>>
发文领域：一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊：《复合材料学报》更多>>
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氢化及沉积温度对掺铝ZnO透明导电薄膜性能影响被引量：3
《复合材料学报》2012年第5期83-87,共5页周洪彪 张化宇 王志刚 
国际合作项目(2009DFR50160;2009DFR50350);哈尔滨市重点技术研发项目(2009AA2BG022;2009AA1BE093)
采用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备了掺铝ZnO透明导电薄膜(AZO)。为了降低AZO薄膜的电阻率,采用在溅射气氛中通入一定比例H2的方法对AZO薄膜进行氢化处理,并研究了溅射气氛中H2含量及衬底温度对AZO薄膜氢化效果的影响。结果表明:在...
关键词：AZO薄膜 射频磁控溅射 氢化 衬底温度 电阻率 
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